臭氧消毒滅菌技術作為一種先進的消毒滅菌技術，同常見的高溫殺菌、紫外線殺菌、化學藥劑殺菌等相比具有較多優點。
1 廣譜殺菌
臭氧是一種廣譜殺菌劑，其在短時間內可有效地殺滅大腸桿菌、蠟桿菌、巨桿菌、痢疾桿菌、傷寒桿菌、流腦雙球菌、金黃色葡萄球菌、沙門氏菌以及流感病毒、肝炎病毒等多種微生物。細菌的芽孢、原生孢囊以及真菌對臭氧的抵抗力較強，但經過較長時間的臭氧處理亦可被全部殺滅。
2 滅菌速度快
試驗結果表明，當消毒劑濃度為 0.3mg/L 時，為達到 大部分的菌體滅活率，用二氧化氯需 6.7min，用碘需 100min，而用臭氧只需 1min。臭氧殺滅大腸桿菌的速率更快，當消毒劑濃度為 0.9mg/L 時，要達到99.99 %的消毒效果，臭氧只需 0.5min，二氧化氯需 4.9min，兩者相差 8.8 倍。
3 無殘留
臭氧的化學性質活潑，一種不穩定的氣體，易自行分解成氧，無任何殘留，無任何新的物質生成，不會造成二次污染，是 很干凈的消毒劑。特別是在飲用水殺菌消毒上，幾乎是有效而無害的途徑。
4 無消毒死角
用紫外線以及高錳酸鉀、漂白粉等化學消毒劑容易造成消毒死角，用臭氧消毒不必擔心有消毒死角，臭氧在通常情況下是一種氣體，極易擴散流動，所有與空氣有接觸的地方都可起到很好的消毒效果。
5 不需高溫處理
傳統的高溫殺菌技術是依靠高溫使菌體蛋白凝固，從而使菌體死亡，高溫對食品的熱敏性營養成分破壞很大，可使食品本身所特有的風味有所喪失。臭氧殺菌技術是一種冷殺菌技術，不需加熱處理，是利用本身強烈的氧化作用使菌體死亡，很好地保持食品原有的色、香、味，使食品質量得到保證。
6 可脫臭、除味、脫色
臭氧是一種強氧化劑，進行水處理時能破壞使水產生異味的有機化合物和有色的有機物，將亞鐵和亞錳氧化成高價的不溶性氧化物，然后通過沉淀和過濾除去，并且不會產生鹵代烴類。
7 使用方便
利用臭氧進行消毒滅菌比利用其它消毒滅菌方法方便，且安全可靠。
